近年來有些研究者提出處理含氟廢水可在投加鈣鹽的基礎上聯合使用鎂鹽、鋁鹽、磷酸鹽等工藝，處理效果比單純加鈣鹽效果好。

氯化鈣與磷酸鹽除氟法，其工藝過程是：先在廢水中加入氯化鈣，調pH至9.8~11.8，反應0.5h，然后加入磷酸鹽，再調pH為6.3~7.3，反應4~5h，最后靜止澄清4~5h，出水氟質量濃度為5mg/L左右。鈣鹽、磷酸鹽、氟三者的摩爾比大約為（15~20）：2:1。文獻中報道了一種用氯化鈣和三氯化鋁聯合處理含氟廢水的方法，其工藝過程是：先在廢水中投加氯化鈣，攪溶后再加入三氯化鋁，混合均勻，然后用氫氧化鈉調pH至7~8。沉降15min后砂濾，出水氟離子濃度為4mg/L。氯化鈣、三氯化鋁和氟的摩爾比為（0.8~1）：（2~2.5）：1。鈣鹽聯合使用鎂鹽、鋁鹽、磷酸鹽后，除氟效果增加，殘氟濃度降低，主要是因為形成了新的更難溶的含氟化合物，剩余污泥和運行費用僅為原來的1/10。如鈣鹽與磷酸鹽合用時，會生成Ca5(PO4)3F沉淀；氯化鈣與三氯化鋁合用時形成有鈣、鋁、氟組成的絡合物沉淀，其具體組成和結構尚待進一步研究。

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